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　　MEMS(微機電系統(tǒng))是一種基于CMOS工藝的集成技術。它將傳感器/微處理器/信號處理與控制集于一體，有效縮小了系統(tǒng)的體積，是一種先進的加工技術。

　　MEMS測試難點

　　1.電容是MEMS的必測項。電容式微傳感器是MEMS系統(tǒng)中常用的傳感器，它負責接收外界的信號并轉換為電學信號。這個電容值很小，一般為pF量級。測試設備所能施加的交流頻率和電容測量的精度是需要考慮的因素。

　　2.電阻是MEMS的必測項。電阻式傳感器在MEMS系統(tǒng)中非常常見其阻值的變化可以表征外界信號的變化。MEMS系統(tǒng)中的電阻范圍較大，因此測試設備的電壓電流動態(tài)范圍也必須足夠大。

　　測試方案：

　　TH2851阻抗分析儀+探針臺

　　測試參數：MEMS輸出電容C、MEMS輸出電阻R

　　TH2851系列阻抗分析儀是同惠電子采用當前國際先進的自動平衡電橋原理研制成功的新一代阻抗測試儀器，為國產阻抗測試儀器的最新高度。其徹底顛覆了傳統(tǒng)國產儀器復雜繁瑣的操作界面，基于Windows10操作系統(tǒng)，實現了全電腦化操作界面，讓測試更智能、更簡便。

　　TH2851系列阻抗分析儀也徹底超越了國外同類儀器120MHz的頻率瓶頸；解決了國外同類儀器只能分析、無法單獨測試的缺陷；中英文操作界面也解決了國外儀器僅有英文界面的尷尬；采用單測和分析兩種界面，讓測試更簡單?？爝_2.5ms的測試速度、及高達40MΩ的阻抗測試范圍可以滿足元件與材料的測量要求，特別有利于低損耗(D)電容器和高品質因數(Q)電感器的測量。四端對的端口配置方式可有效消除測試線電磁耦合的影響，將低阻抗測試能力的下限比常規(guī)五端配置的儀器向下擴展了十倍。