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　　方案特點

　　豐富的內置元器件庫（雙端口、三端口、MOSFET、BJT等），可以根據(jù)測試要求選擇所需要的待測件類型；

　　四象限輸出和測量功能，可以在正負電壓、正負電流之間進行無縫切換和掃描；

　　測試和計算過程由軟件自動執(zhí)行，能夠顯示數(shù)據(jù)和曲線，節(jié)省了大量的時間；

　　精準穩(wěn)定的探針臺，針座分辨率可高達0.7um，顯微鏡放大倍數(shù)最高可達x195倍；

　　高達500fA電流輸出分辨率和10fA測量分辨率，可以滿足半導體器件微小電信號控制和測量要求。

　　測試功能

　　雙端口、三端口器件直流參數(shù)測量；

　　I-V，I-T，V-T，I-R，V-R掃描測試；

　　曲線繪制，原始數(shù)據(jù)導出，結果保存。

　　系統(tǒng)結構

　　系統(tǒng)主要由一臺雙通道源表或兩臺單通道源表（SMU）、連接線或探針臺，及上位機軟件構成。以三端口MOSFET或BJT器件為例，共需要以下設備：兩臺吉時利2450源表、三同軸或香蕉頭連接電纜、夾具或探針臺。

　　上位機軟件與源表（SMU）的連接方式如下圖所示，可以使用LAN/USB/GPIB中的任何一個接口進行連接。

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